傳統處理VOCs的方法主要有:吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、生物法、回收污染物法和光催化法,它們的特點如下:(1)吸附法去除效率高、凈化徹底、能耗低、工藝成熟、易于推廣,但如果再生的液體不能回用,這些液體必須進行處理,不僅可能造成二次污染,而且增加許多處理成本,另外當廢氣中有氣溶膠或其他雜質時,吸附劑易失效。(2)直接燃燒法工藝成熟,在適宜的溫度和保留時間下,處理率可達99%,但能耗高,投資大,易氧化空氣中的N2。(3)工業廢氣處理催化燃燒法處理率在90%～95%,只針對特定類型的化合物反應,能耗高、投資大(需貴重金屬做催化劑)、催化劑易中毒、可能產生二惡英。(4)生物法主要是濕地過濾、生物過濾等,該法能耗低,但設備占地大,系統彈性小,需后處理受污染的生物群,如果連續進氣,且廢氣中污染物的濃度和組分穩定,用該法處理成本很低,但是一般工業廢氣的污染物的濃度和組分經常波動。(5)回收污染物該法有利于生態循環,但投資成本高、工業廢氣處理運行費用高,回收的原料通常需要進一步安全處置。(6)光催化法反應過程快,效率高,且無二次污染問題,具有非常大的潛在應用價值。但是在光催化過程中,對催化劑的要求較高,催化劑活性易降低,如何解決催化劑的失活問題成為該技術的關鍵。而近幾年發展起來的低溫等離子體技術處理VOCs,有其獨特的優點:可在常溫常壓下操作;有機化合物最終產物為CO2、CO和H2O,若有機物是氯代物,則產物應加上氯化物,而無中間副產物,降低了有機物毒性,同時避免了其他方法中后期處理問題;無需考慮催化劑失活問題;工藝流程簡單、運行費用低,是直接燃燒的一半;運行管理方便;對VOCs的去除率高,對VOCs的適應性強。